张掖聚焦离子束扫描电子显微镜操作流程图

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离子束扫描电子显微镜(Ion Beam Scanning Electron Microscopy,简称IBEM)是一种先进的电子显微镜技术,可以对样品进行高分辨率的成像和表征。它的基本原理是利用离子束对样品进行扫描,从而得到高分辨率的电子图像。以下是离子束扫描电子显微镜的操作流程图。

1. 准备样品

将待观察的样品放入扫描电极之间,并使用样品夹具将其固定在扫描台上。将扫描电极清洁干净,以避免样品污染。

2. 确定实验参数

打开离子束扫描电子显微镜,并设置以下实验参数:

- 离子束电压:根据需要调整离子束电压,通常在100-3000伏之间。
- 扫描加速电压:根据需要调整扫描加速电压,通常在50-200伏之间。
- 扫描角度:根据需要调整扫描角度,通常在0-180度之间。
- 观察模式:根据需要选择观察模式,通常有常规模式、高分辨模式、能量分析模式等。

3. 清洁扫描电极

用扫描电极清洁剂清洁扫描电极,以去除样品污染和前一次实验的残留物。

4. 样品固定

将样品固定在扫描电极之间,并使用样品夹具将其固定在扫描台上。

5. 开始扫描

根据实验参数设置,打开离子束扫描电子显微镜,并开始扫描样品。在扫描过程中,离子束会以一定的速度扫描样品表面,同时产生电子图像。

6. 分析扫描结果

使用扫描计算机连接离子束扫描电子显微镜,并使用图像处理软件对扫描结果进行分析。

7. 取出样品

将扫描完的样品从扫描电极之间取出,并使用样品夹具将其放置在所需的位置。

8. 关闭离子束扫描电子显微镜

关闭离子束扫描电子显微镜,并取下实验参数。

通过以上步骤,我们可以使用离子束扫描电子显微镜对样品进行高分辨率的成像和表征。